晶圓切割機(jī)主要由哪三部分組成

時(shí)間：2024-01-13

作者：博捷芯（深圳）半導(dǎo)體有限公司

詞條
詞條說(shuō)明
晶圓切割機(jī)主要由哪三部分組成
晶圓切割機(jī)是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的重要設(shè)備之一，主要用于將晶圓切割成單個(gè)芯片。其組成部分主要包括以下三部分：一、切割機(jī)主機(jī)切割機(jī)主機(jī)是晶圓切割機(jī)的部分，由切割頭、切割臺(tái)、控制系統(tǒng)等組成。切割頭一般采用空氣軸承或電主軸驅(qū)動(dòng)，可以對(duì)晶圓進(jìn)行高速、的切割。切割臺(tái)是用來(lái)固定和支撐晶圓的平臺(tái)，要求具有、高穩(wěn)定性和高剛性。控制系統(tǒng)則通過(guò)計(jì)算機(jī)軟件實(shí)現(xiàn)對(duì)切割機(jī)的控制，包括切割軌跡、切割深度、切割速度等參數(shù)的設(shè)置和調(diào)

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